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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6157709(B2) 申请公布日期 1986.12.08
申请号 JP19780144162 申请日期 1978.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 OSA YASUNOBU;MEGURO SATOSHI;NAGASAWA KOICHI;NAGAI AKIRA
分类号 H01L27/04;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
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