| 发明名称 |
CONTROL FOR DIFFUSION OF DOPANT AND ELECTRIC ACTIVATION THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6242418(A) |
申请公布日期 |
1987.02.24 |
| 申请号 |
JP19860133958 |
申请日期 |
1986.06.11 |
| 申请人 |
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP |
发明人 |
SHIERUDON ARONOUITSUTSU |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/265;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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