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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6247134(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850187134 申请日期 1985.08.26
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KOBAYASHI KIYOTERU;MATSUKAWA TAKAYUKI
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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