发明名称 CONVEYOR OF CERAMIC GREEN SHEET
摘要
申请公布号 JPS6247137(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850186920 申请日期 1985.08.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUKUMOTO KENJI;TANAKA KURAHEI
分类号 H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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