发明名称 VESSEL FOR HEAT TREATMENT
摘要
申请公布号 JPS6249620(A) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 JP19850188541 申请日期 1985.08.29
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO YOSHINARI
分类号 H01L21/324;H01L21/265 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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