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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG GESTAPELTER HALBLEITERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号
DD243799(A1)
申请公布日期
1987.03.11
申请号
DD19850283112
申请日期
1985.11.22
申请人
FRIEDRICH-SCHILLER- UNIVERSITAET JENA,DD
发明人
KAHLERT,VOLKER,DD;GOETZ,GERHARD,DD;GEILER,HANS-DIETER,DD
分类号
H01L21/268;H01L21/31;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/268
代理机构
代理人
主权项
地址
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