发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG GESTAPELTER HALBLEITERBAUELEMENTE
摘要
申请公布号 DD243799(A1) 申请公布日期 1987.03.11
申请号 DD19850283112 申请日期 1985.11.22
申请人 FRIEDRICH-SCHILLER- UNIVERSITAET JENA,DD 发明人 KAHLERT,VOLKER,DD;GOETZ,GERHARD,DD;GEILER,HANS-DIETER,DD
分类号 H01L21/268;H01L21/31;H01L21/84;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
地址