发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6298742(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850237433 申请日期 1985.10.25
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 KANAI AKIRA;KATO TOKIO;KUDO SATOSHI;KAWAMURA MAKOTO;TOCHIKUBO HIROO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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