发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE ON III-V GROUP COMPOUND SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62189762(A) |
申请公布日期 |
1987.08.19 |
申请号 |
JP19860296507 |
申请日期 |
1986.12.12 |
申请人 |
ALLIED CORP |
发明人 |
ORAREI ADETORO AINA;AMIRU ARIMOHAMEDO RAHANI |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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