发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE ON III-V GROUP COMPOUND SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS62189762(A) 申请公布日期 1987.08.19
申请号 JP19860296507 申请日期 1986.12.12
申请人 ALLIED CORP 发明人 ORAREI ADETORO AINA;AMIRU ARIMOHAMEDO RAHANI
分类号 H01L21/28;H01L21/265;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/812;H01S5/00 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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