发明名称 REEL FOR WINDING AND UNWINDING PHOTORESIST MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0212203(A3) 申请公布日期 1987.10.21
申请号 EP19860109355 申请日期 1986.07.09
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HILGER, MANFRED
分类号 B65H75/14;B65H75/22;G03F7/16;G03F7/30;(IPC1-7):B65H75/22 主分类号 B65H75/14
代理机构 代理人
主权项
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