发明名称 TRANSPORTING WAFERS
摘要
申请公布号 GB8728136(D0) 申请公布日期 1988.01.06
申请号 GB19870028136 申请日期 1987.12.02
申请人 TERADYNE INC 发明人
分类号 B65H1/28;B23Q7/04;B65G1/00;B65G1/07;B65G49/07;H01L21/673;H01L21/677 主分类号 B65H1/28
代理机构 代理人
主权项
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