| 主权项 |
1.一种具型样之基板,该基板包括了一 种覆放诸如经强化环氧树脂基板之聚 合物基板上之金属图案,其特点在: 藉着利用电磁照射使基板发光,然后 ,检测从基板所发出之萤光之步骤, 来检测金属图案中之缺陷,其中该基 板上包括了一种能产生萤光之染料, 该染料乃基本上均匀地分布于覆于金 属图案之下之基板区域中,且该染料 具有一如化学式(1)和化学式(2)所表示 之化学结构: 其中Y为SO3G(G为诸如钠离子之 硷金属阳离子),或H,R1 和R2 分别为氢,甲基或乙基,R3 为低烷; 基且其以少于5个碳原子为较理想, 对-甲苯基,二甲苯基或氢,而Z- 为Cl-,Br-,I-,NO2-或 对-甲苯磺酸基。2.如请求专利部分第1.项之具型 样之基 板,其特点在:该染料系化学键结于 该基板上。3.如请求专利部分第1.或2.项之具型样 之基板,其特点在:该染料并入基板 前先经改质使具有一官能基俾利于该 染料更易溶于用以形成前述基板的材 料之中。4.如请求专利部份第1.至3.项之具型样 之基板,其特点在:该基板包括了一 种熟化之环氧树脂,且该染料包括了 已经改质而含有一种环氧官能基之下 式化合物:5.如请求专利部分第1.至4.项之具型样 基板,其特点在:该基板为一种电子 电路板。6.如请求专利部分第1.至5.项之具型样 基板,其特点在:该图案包括了一种 上了图案之钢层。7.如请求专利部分第6.项之具型 样基板 ,其特点在:该图案包括了一种上了 图案之钢镀层。 |
