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经营范围
发明名称
MANUFACTURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6395630(A)
申请公布日期
1988.04.26
申请号
JP19860241802
申请日期
1986.10.11
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAMOTO TOMIO
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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