| 摘要 |
본 발명은 경면 물체를 소정 온도로 냉각시키고, 냉각된 경면 물체에 소정 온도의 습공기를 분사하여 경면 물체의 표면에 습공기(즉, 김서림 또는 수분 입자)를 형성하는 습공기 형성 장치 및 이를 포함하는 측정 시스템을 제공한다. 본 발명에 따른 습공기 형성 장치는, 경면 물체를 제1 온도로 냉각시키도록 동작하는 냉각부와, 제1 온도보다 높은 제2 온도의 습공기를 형성하고, 냉각된 경면 물체의 표면에 습공기를 분사하여, 냉각된 경면 물체의 표면에 습공기를 형성하기 위한 습공기 분사부를 포함한다. |
