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发明名称
摘要
申请公布号
JPS63175610(U)
申请公布日期
1988.11.15
申请号
JP19870058276U
申请日期
1987.04.16
申请人
发明人
分类号
B65G11/20;B25H1/00;H01L21/66;H01L23/00;(IPC1-7):B65G11/20
主分类号
B65G11/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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