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发明名称 APPEARANCE INSPECTION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS645029(A) 申请公布日期 1989.01.10
申请号 JP19870161795 申请日期 1987.06.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KIMOTO NOBUYO
分类号 H01L21/66;G01N21/84;G01N21/88 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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