| 摘要 |
서로 수직한 편광으로 재생된 회절광학소자를 이용한 2차원 레이저 가공 방법 및 장치가 제시된다. 서로 수직한 편광으로 재생된 회절광학소자를 이용한 2차원 레이저 가공 방법은 레이저 빔을 제1 편광 광선 분배기(Polarizing Beam Splitter; PBS)를 통과시켜 복수의 레이저 빔으로 분리하는 단계; 분리된 상기 복수의 레이저 빔을 각각 회절광학소자(Diffractive optical element, DOE)를 통과시켜 위상을 변조하는 단계; 및 변조된 위상을 가진 상기 복수의 레이저 빔을 제2 편광 광선 분배기를 통과시켜 하나의 레이저 빔으로 결합하는 단계를 포함한다. |
