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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS647640(A) 申请公布日期 1989.01.11
申请号 JP19870163136 申请日期 1987.06.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OSADA OSAMU;NAKANO HIROTAKA;YOSHINO TSUNEICHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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