发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6421914(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870177282 申请日期 1987.07.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OKADA NORIAKI
分类号 H01L21/20;H01C17/26;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/822;H01L27/01;H01L27/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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