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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6421944(A)
申请公布日期
1989.01.25
申请号
JP19870179341
申请日期
1987.07.16
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
SUMIYA KOICHI
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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