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发明名称 ION BEAM FEEDER
摘要
申请公布号 JPS6421847(A) 申请公布日期 1989.01.25
申请号 JP19870176677 申请日期 1987.07.15
申请人 JAPAN AVIATION ELECTRON IND LTD 发明人 FUNABASHI HIDEO
分类号 B01J19/08;H01J27/02;H01J37/08;H01L21/203 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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