| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING STRUCTURES ON A SUBSTRATE SURFACE |
| 摘要 |
The invention relates to a method for producing structures in the millimeter and/or micrometer and/or nanometer range, and to a casting mold. |
| 申请公布号 |
WO2016206746(A1) |
申请公布日期 |
2016.12.29 |
| 申请号 |
WO2015EP64394 |
申请日期 |
2015.06.25 |
| 申请人 |
EV GROUP E. THALLNER GMBH |
发明人 |
BURGGRAF, Jürgen |
| 分类号 |
G03F7/00 |
主分类号 |
G03F7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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