发明名称 积体电路测试站
摘要
申请公布号 TW111673 申请公布日期 1989.04.11
申请号 TW076104711 申请日期 1987.08.11
申请人 泰克特洛尼克斯公司 发明人 刁多尔.奇.克雷佛;岱默.伊.史奈德;康礼斯.提.凡内达尔
分类号 G01R31/318 主分类号 G01R31/318
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1.一种测试站包含:一平台,具有大致平面之上表面;支持装置,用以支持一测试装置,与该上表面成固定分开关系;一卡盘载座,具有大致平面之下表面,该下表面与该上表面成相对关系,一黏性承载材料薄膜,置于上表面及下表面之间,从而,卡盘载座可沿与上表面平行之方向由手动对该平台移动;一卡盘,由卡盘载座携带,并可沿大致垂直于该上表面之二相反方向对卡盘载座移动;及一机械原动机,作用于卡盘载座及卡盘之间,用以使卡盘沿大致垂直于上表面之方向对卡盘载座移动。2.根据申请专利范围第1项所述之测试站,其中,该机械原动机为一电步进马达,装于卡盘载座中,并具有一螺纹输出延伸大致垂直于该上表面,及该卡盘包含一螺帽,螺帽保持固定,防止对卡盘载座旋转,并防止对卡盘线性移动,并由螺纹接合马达之输出轴,因而,输出轴之旋转使卡盘沿大致垂直于该上表面之方向对卡盘载座线性移动。3.根据申请专利范围第2项所述之测试站:包含一控制器,控制器连接至步进马达,用以在受控制之供应率上供应电脉波至步进马达,以供马达旋转该输出轴,该控制器具有一手动操作状态及至少一自动操作状态,在手动操作状态中,由手动控制脉波之供应率,在自动操作状态中,由控制器自动控制脉波之供应率。4.根据申请专利范围第3项所述之测试站,其中,卡盘载座包含一极限开关,当卡盘朝向该上表面移动时,极限开关由卡盘接合,极限开关连接至控制器,当极限开关接合卡盘时,中断供应脉波至马达。5.根据申请专利范围第3项所述之测试站,其中,该控制器具有多个自动操作状态,并可手动转换于各自动操作状态之间。6.根据申请专利范围第5项所述之测试站,其中,该控制器具有:一第一自动状态,其中,卡盘沿离开该上表面之一方向移动至一本位位置;一第二自动状态,其中,卡盘自该本位位置沿离开该上表面之方向移动一预定量,并停止;及一第三自动状态其中,卡盘沿离开该上表面之方向移动一额外量,并停止。7.根据申请专利范围第6项所述之测试站,含有不作用装置,用以限制卡盘在第三自动状态中可移动之量。8.根据申请专利范围第6项所述之测试站,其中,该控制器含有一记忆器,用以储存一资料,该资料订定卡盘在第三自动状态中时移动之量。9.根据申请专利范围第6项所述之测试站,其中,该控制器包含一记忆器,用以储存在手动操作状态中所产生之资料,该资料订定卡盘在第二自动模式中时移动之量。10. 根据申请专利范围第6项所述之测试站,其中,该卡盘载座包含一极限开关,当卡盘朝向上表面移动时,极限开关由卡盘接合,该极限开关连接控制器,当极限开关接合卡盘时,用以中断供应脉波至马达;及该控制器包含一记忆器,用以储存资料,该资料订定卡盘必须自其与极限开关接合之位置沿离开该上表面之方向移动之量,以到达该本位位置。图示简单说明:图1为本发明具体实例之一测试站之前视图,部份为断面图,及图2为图1之一详细部份之放大断面图。
地址 美国