| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport eines bandförmigen Substrates (1) durch einen Reaktor (20), wobei das Substrat (1) von Transportelementen (3, 3', 4, 4', 5, 5', 6, 6') gehalten ist, die in einer Transportrichtung (V) von einem Antriebsaggregat (15, 15') verlagerbar sind. Die Transportmittel weisen erste Transportbalken (3, 3', 4, 4') und zweite Transportbalken (5, 5', 6, 6') auf, die in einem zeitlichen Wechsel am Substrat (1) angreifen, wobei die jeweils am Substrat (1) angreifenden Transportbalken in Transportrichtung (V) und die jeweils nicht am Substrat angreifenden Transportbalken in einer Rückwärtsrichtung (R) entgegengesetzt zur Transportrichtung (V) bewegt werden. Es sind paarweise in Transportrichtung (V) jeweils vor und hinter den Reaktor (20) angeordnete Transportschlitten (13, 13', 14, 14') vorgesehen. |
