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发明名称 Large area cathode lift-off sputter deposition device
摘要
申请公布号 US4824544(A) 申请公布日期 1989.04.25
申请号 US19870114896 申请日期 1987.10.29
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 MIKALESEN, DONALD J.;ROSSNAGEL, STEPHEN M.
分类号 H01L21/203;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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