| 发明名称 |
METHOD OF PRODUCING NEGATIVE IMAGES IN RESIST LAYER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
SU1498400(A3) |
申请公布日期 |
1989.07.30 |
| 申请号 |
SU19853974782 |
申请日期 |
1985.10.25 |
| 申请人 |
YUTSB S.A. (FIRMA) |
发明人 |
BRUNO ROLAND,BE;OGYUST VRANKEN,BE |
| 分类号 |
G03F7/023;G03C1/00;G03C5/00;G03F7/022;G03F7/26;G03F7/36;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/023 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
