| 发明名称 |
FORMATION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01276779(A) |
申请公布日期 |
1989.11.07 |
| 申请号 |
JP19880106402 |
申请日期 |
1988.04.28 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAGUCHI YUTAKA;EDA KAZUO;MIWA TETSUJI |
| 分类号 |
H01L39/24;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;C04B41/90;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00 |
主分类号 |
H01L39/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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