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发明名称 FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01276716(A) 申请公布日期 1989.11.07
申请号 JP19880106371 申请日期 1988.04.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUKIKAWA YASUHIKO;KOSEKI HIDEO;ITO YUKO;KAWAMURA TOSHIO
分类号 H01L21/205;H01L31/04 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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