VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER POLYKRISTALLINEN HALBLEITENDEN WIDERSTANDSSCHICHT AUS SILICIUM AUF EINEM SILICIUMTRAEGER,申请号DE19883814348-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER POLYKRISTALLINEN HALBLEITENDEN WIDERSTANDSSCHICHT AUS SILICIUM AUF EINEM SILICIUMTRAEGER
摘要
申请公布号	DE3814348(A1)	申请公布日期	1989.11.09
申请号	DE19883814348	申请日期	1988.04.28
申请人	PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH, 2000 HAMBURG, DE	发明人	GRAEGER, VOLKER, DR., 2110 BUCHHOLZ, DE;KOBS, ROLF, 2082 TORNESCH, DE;SCHAEFER, HORST, 3510 HANN MUENDEN, DE;ZEILE, HEINRICH, DR., 2000 HAMBURG, DE
分类号	H01L27/04;G01L9/00;H01C10/10;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/822;H01L29/84	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
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