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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF THIN FILM STRUCTURE
摘要
申请公布号
JPH01287925(A)
申请公布日期
1989.11.20
申请号
JP19880117426
申请日期
1988.05.13
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
SHIMOBAYASHI TAKASHI
分类号
H01L21/302;H01L21/20;H01L21/3065
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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