发明名称 METHOD OF MANUFACTURING LOGIC CIRCUIT AND EEPROM MEMORY CELL ON COMMON SUBSTRATE SIMULTANEOUSLY
摘要
申请公布号 JPH023985(A) 申请公布日期 1990.01.09
申请号 JP19890010965 申请日期 1989.01.18
申请人 SIEMENS AG 发明人 ERUUIN HOTSUPUFU;UERUNAA KURINGENSHIYUTAIN
分类号 H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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