发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING LOGIC CIRCUIT AND EEPROM MEMORY CELL ON COMMON SUBSTRATE SIMULTANEOUSLY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH023985(A) |
申请公布日期 |
1990.01.09 |
申请号 |
JP19890010965 |
申请日期 |
1989.01.18 |
申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
ERUUIN HOTSUPUFU;UERUNAA KURINGENSHIYUTAIN |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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