| 摘要 |
기판의 표면에 걸친 원하는 온도 프로파일을 유지하는 정전 척 시스템이 개시된다. 정전 척 시스템은, 표면에 걸친 실질적으로 균일한 온도 프로파일을 정의하는 받침대 지지부와, 받침대 지지부에 의해 지지되는 정전 척을 포함한다. 정전 척은 클램핑 전극 및 복수의 독립적으로 제어되는 가열 전극을 포함한다. 독립적으로 제어되는 가열 전극은 내부 가열 구역을 정의하는 내부 가열 전극과 갭 거리만큼 분리된 주변 가열 구역을 정의하는 주변 가열 전극을 포함한다. 기판의 표면에 걸친 온도 프로파일은 받침대 열 구역, 내부 가열 구역, 주변 가열 구역의 열특성을 가변하거나, 또는 내부 가열 전극 및 주변 가열 전극 사이의 갭 거리의 크기를 가변함으로써 튜닝될 수 있다. |
