发明名称 FORMATION OF CAPACITOR
摘要
申请公布号 JPH0242726(A) 申请公布日期 1990.02.13
申请号 JP19880193815 申请日期 1988.08.02
申请人 NEC CORP 发明人 NANBU YOSHIHIRO
分类号 H01L21/3205;H01L21/268;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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