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经营范围
发明名称
BURNOUT DETECTION METHOD
摘要
申请公布号
JPH0245950(A)
申请公布日期
1990.02.15
申请号
JP19880197420
申请日期
1988.08.08
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
URAOKA KOUJI;NAKADA YOSHIRO;EZAKI TAKEYA
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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