PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE, INCLUDING A PLASMA TREATMENT,申请号EP19850201599-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE, INCLUDING A PLASMA TREATMENT
摘要
申请公布号	EP0180268(B1)	申请公布日期	1990.02.28
申请号	EP19850201599	申请日期	1985.10.03
申请人	LABORATOIRES D'ELECTRONIQUE PHILIPS;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN	发明人	GOURRIER, SERGE;THEETEN, JEAN-BERNARD
分类号	H01L21/338;H01L21/318;H01L21/324;H01L29/51;H01L29/812	主分类号	H01L21/338
代理机构		代理人
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