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l 一种光织之玻璃预制坏之加热炉,该预制 坏是由石英基玻璃微粒组成而用以制造光 做,而炉内空气为含氟之气体以达到加氟 至该预制坏及玻璃化该预制坏的目的,该 加热炉之组成一加热器及放置于加热器内 以隔开热空气的蒙烰管,其中至少蒙烰管 的内壁是由高纯度碳制成。 2 依据申请专利范围第 1 项所述之加热炉, 其中该蒙烰管之组成包括由高纯度碳制成 的内层及矽碳化物制成的外层。 3 依据申请专利范围第 1 项所述之加热炉, 其中该蒙烰管包括矽碳化物制之管之体及 覆被于管体内壁上的高纯度碳层。 4依据申请专利范围第 1 项所述之加热炉, 其中该蒙烰管包括由高纯度碳制成之管体 及覆被于该管体外壁上之矽碳化物层。 5 依据申请专利范围第I项所述之加热炉, 其中该蒙烰管包括石英玻璃制成之管体及 覆被于该管体内壁上的碳层。 6 依据申请专利范围第5项所述之加热炉, 其中让石英玻璃制管体中含铜量为U 5pPm 7 依据申请专利范围第5项所述之加热炉, 其中该碳层之厚度为ll Ul至 500 um。 8 依据申请专利范围第5项所述之加热炉, 其中该碳层是以CVD法或电浆CVD法 形成。 9 依据申请专利范围第 1 项所述之加热炉, 其中该蒙烰管包括上、中及底段,而至少 中段之内壁是中高纯度碳制成,上及底段 则以抗热及抗腐蚀材科制成。 l0 依据申请专利范围第9项所述之加热炉 ,其中该中段整个由高纯度碳制成。 ll 依据申请专利范围第9项所述之加热炉 ,其中构成该中段之碳纯度为含灰量不超 过20ppm 。 12 依据申请专利范围第9项所述之加热炉 ,其中该蒙烰管之上及底段皆中碳制成。 13 依据申请专利范围第9项所述之加热炉 ,其中该蒙烰管之上及底段皆由石英制成 14 依据申请专利范围第l至13任一项所述 之加热炉,其组成另包括一前室,该前室 用以保存及自该蒙烰管移出该多孔性预制 坏或将该预制坏插入该蒙烰管内。 15 依据申请专利范围第14项所述之加热炉 ,其中该室被加热至 80O C且抽真空至 lO"z T o r r 。 16一种制造光纤玻璃预制坏之方法,该方 法包括于加热炉中对由石英玻璃微粒所组 成之多孔性预制坏加以热处理,而该加热 炉包括至少其内壁为碳制的蒙烰管,该炉 内空气为含有至少自矽氟化物及碳氟化物 族群中选取出来的一氟化物的惰性空气, 该氟化物气体之作用为加氟至该玻璃,而 同时或其后,将该玻璃之微粒玻璃化以产 主一玻璃预制坏。 17 依剧申请专利范围第16项所述之方法, 其中该蒙烰管之外壁是覆被以低透气性的 防热材料。 18 依据申请专利范围第n项所述之方法, 其中该防热材科之氮渗透率为lO" c m, / ) s e e或更低。 19 依据申请专利范围第16至18项所述之方 法,其中在加氟之前,该多孔性预制坏于 ,不致该玻璃微粒收缩的温度范围中被加 以脱水处理。 20 依据申请专利范围第W项所述之方法, 其中该多孔性预制坏的脱水处理是于含有 含氯气体的惰性空气中执行的。 21 依据申请专利范围第20项所述之方法, 其中含氯气体为Cl z 或CCl 。。 |
