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发明名称 SUPPLY OF CARBON DIOXIDE
摘要
申请公布号 EP0332356(A3) 申请公布日期 1990.04.04
申请号 EP19890302176 申请日期 1989.03.03
申请人 OSAKA SANSO KOGYO LIMITED 发明人 KOZO, MORIYA;OHKATSU, TADASHI
分类号 H01L21/304;B08B5/00;B08B7/00;F17C7/02;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):F17C7/02;B01D46/00 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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