发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02172229(A) 申请公布日期 1990.07.03
申请号 JP19880327125 申请日期 1988.12.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAGUCHI SUMIO;ONO TAKIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/283 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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