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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0286152(U) 申请公布日期 1990.07.09
申请号 JP19880165537U 申请日期 1988.12.21
申请人 发明人
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
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