VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINES DUENNEN FILMES.,申请号AT19860307176T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG EINES DUENNEN FILMES.
摘要
申请公布号	AT54339(T)	申请公布日期	1990.07.15
申请号	AT19860307176T	申请日期	1986.09.17
申请人	MACHINE TECHNOLOGY INC.	发明人	STRAHL, THOMAS LADELLE
分类号	C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
地址