发明名称 WIRING DESIGN SYSTEM OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH02198155(A) 申请公布日期 1990.08.06
申请号 JP19890016155 申请日期 1989.01.27
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 YUYAMA YASUSHI;NISHIZAWA KOICHI
分类号 H01L21/822;G06F17/50;H01L21/82;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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