分子ビーム支援ＧＣＩＢ処理

摘要

様々な材料のガスクラスターイオンビーム（ＧＣＩＢ）エッチング処置を行うための方法及びシステムを説明する。具体的には、ＧＣＩＢエッチング処理は、イオンビームの局所領域の圧力を最適化するために１つ以上の分子ビームを用いることを含む。