| 摘要 |
e-빔 리소그래피 시스템에서 미러 어레이를 갖는 디지털 패턴 생성기(DPG)에 관한 시스템들 및 방법들이 개시된다. 미러 어레이는 미러들의 제1 뱅크 및 미러들의 제2 뱅크를 포함하며, 결합 로직 구조물이 미러들의 제1 뱅크와 제2 뱅크에 개재(interpose)된다. 출력 데이터 라인은 미러들의 제1 뱅크로부터 결합 로직 구조물까지 연장된다. 미러들의 제2 뱅크와 연관된 데이터를 반송하는 입력 데이터 라인이 또한 결합 로직 구조물에 제공된다. 출력 데이터 라인은 결합 로직 구조물로부터 제2 뱅크까지 연장된다. |
