摘要 |
本案系有关于薄膜电阻之形成或制造装置,是经由一个导板把一个已经设定好方向以便进而加工之模造基体放入装置,再藉一个由滑杆组成的嵌入设施把每一模造基体传送到钳状单元的两个夹物面之间,在两个夹物面所形成的夹制区的方向,应该至少有一个空气喷出口,此喷气出口产生一股向下的气流,吹在每一模造基体上,当雷射光在刻蚀或是灼烧沟槽时,这股气流能够冷模造基体温度,也能把在灼烧时产生蒸发或燃烧后的电阻废料吹走,同时在制造完成的电阻被卸下时,还能迅速将其吹离夹制区,因此得以极高之效率制造出体积极小且精密度高之电阻。附注:本案已向德国申请专利,申请日期:1988年3月23日案号:P 3809821.0 |