发明名称 TEMPERATURE-CONTROLLED BODIES
摘要 Méthode de chauffage d'un corps, par exemple tranche de semiconducteur (4) dans un four (1), dont la température est réglée par un pyromètre optique (8) dirigé vers une surface émettrice de rayonnements de ladite tranche (4). Cette méthode comprend le dépôt d'une structure en couches (10) d'une certaine quantité d'émittance sur ladite surface, de manière à ce qu'une répartition uniforme des rayonnements thermiques à travers la structure soit fournie à la sortie du pyromètre (8). La couche (10) peut être en titane ou, de préférence, si elle doit être éliminée, en carbone.
申请公布号 WO9012295(A1) 申请公布日期 1990.10.18
申请号 WO1990GB00430 申请日期 1990.03.21
申请人 PLESSEY OVERSEAS LIMITED 发明人 DUNCAN, SHANE;HILL, CHRISTOPHER
分类号 F27D21/00;G01J5/00;G01J5/60;H01L21/00 主分类号 F27D21/00
代理机构 代理人
主权项
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