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发明名称 OXIDE THIN FILM MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02272733(A) 申请公布日期 1990.11.07
申请号 JP19890092914 申请日期 1989.04.14
申请人 NEC CORP 发明人 SATO TETSURO
分类号 H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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