| 发明名称 |
MICRO-CLUSTER DEVICE AND METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0318013(A) |
申请公布日期 |
1991.01.25 |
| 申请号 |
JP19890152777 |
申请日期 |
1989.06.14 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
KOUKUSE ITSUO;IKETANI MOTOSHI |
| 分类号 |
G02B6/13;B01J37/02;C23C14/46;G02B6/12;H01L21/203;H01L27/15;H01L29/201 |
主分类号 |
G02B6/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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