发明名称 VERFAHREN ZUR AUSBILDUNG PLANARER LEITERBAHNEN AUF CHIPNIVEAU.
摘要
申请公布号 DE3766737(D1) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 DE19873766737 申请日期 1987.02.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BALASUBRAMANYAM, KARANAM, HOPEWELL JUNCTION NEW YORK 12533, US;RISEMAN, JACOB, POUGHKEEPSIE NEW YORK 12602, US;DALLY, ANTHONY JOHN, PLEASANT VALLEY NEW YORK 12569, US;OGURA, SEIKI, HOPEWELL JUNCTION NEW YORK 12533, US
分类号 H01L21/3205;G03F7/09;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;G03F7/26 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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