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发明名称 ENTLADUNGSVORRICHTUNG.
摘要
申请公布号 DE3580953(D1) 申请公布日期 1991.01.31
申请号 DE19853580953 申请日期 1985.08.30
申请人 ANELVA CORP., FUCHU, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIM, KYUNGSHIK C/O ANELVA CORPORATION;WILKINSON, OWEN C/O ANELVA CORPORATION, FUCHU-SHI 183 TOKYO, JP
分类号 C23C16/517;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34;C23C14/54 主分类号 C23C16/517
代理机构 代理人
主权项
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