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发明名称 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG VON SCHABLONEN FUER PROJEKTIONSLITHOGRAFIEPROZESSE
摘要
申请公布号 DD287112(A5) 申请公布日期 1991.02.14
申请号 DD19890331280 申请日期 1989.07.31
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 SEYFARTH,HARALD,DE;TAENZER,BERND,DE;WEBER,CHRISTIAN,DE;HACKBART,HARALD,DE
分类号 G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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