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发明名称 Magnification compensation apparatus
摘要
申请公布号 US4999496(A) 申请公布日期 1991.03.12
申请号 US19890449806 申请日期 1989.12.13
申请人 NANOQUEST (CANADA) INC. 发明人 SHAW, DAVID A.;HERRIOT, GLEN A.
分类号 H01J37/22;H01J37/21;H01J37/256 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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